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J-GLOBAL ID：201302262179527854   整理番号：13A1791752

厳しい環境のためのランガサイト表面弾性波圧力センサ

Langasite SAW Pressure Sensor for Harsh Environments

著者 (4件)： MOULZOLF Scott C. (Univ. Maine, ME, USA) ,  BEHANAN Roby (Univ. Maine, ME, USA) ,  LAD Robert J. (Univ. Maine, ME, USA) ,  PEREIRA DA CUNHA Mauricio (Univ. Maine, ME, USA)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2012 Vol.2  ページ： 1224-1227  発行年： 2012年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エネルギー生成,宇宙,工業プロセスにおける,200°Cを超える温度環境で動作する,無線の圧力センサについて検討した。正方形形状のシールキャビティランガサイトSAW共振器圧力センサについて調べた。圧力225psia,温度500°Cまでで特性化を行った。マルチプルSAWデバイス位置で,応力に対するSAW共振器の感度を,ビーム試験によって調べた。これらの結果をベースに,キャビティの形状(14mm×14mmの正方形ダイヤグラム),センサ(共振周波数340MHz)の配置を最適化した。センサの動作圧力範囲を増大することができた。

シソーラス用語： *共振器 ,  *圧力センサ ,  圧電材料 ,  共振周波数 ,  空洞
準シソーラス用語： キャビティ ,  ランガサイト ,  *表面弾性波共振器

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 環境 ,  ランガサイト ,  表面弾性波 ,  圧力センサ