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J-GLOBAL ID：201302263625598651   整理番号：13A0989558

軟X線法によるP-Nダイオード順方向電流の改善

An Improvement of Forward Current of P-N Diode Using Soft X-Ray Method

著者 (6件)： RUJANAPICH Poopol (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  SRITHANACHAI Itsara (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  UEAMANAPONG Surada (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  POYAI Amporn (Thai Microelelctronics Center (TMEC), Chachoengsao, THA) ,  NIEMCHAROEN Surasak (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  TITIROONGRUANG Wisut (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
資料名： Advanced Science Letters  (Advanced Science Letters)
巻： 19  号： 2  ページ： 690-693  発行年： 2013年02月 
JST資料番号： W2378A  ISSN： 1936-6612  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 特性の良いダイオードは低い漏れ電流と高い順方向電流を持たなければならない。性能劣化の一つの要因は高エネルギーイオン注入である。特にCMOSプロセスにおいてはバルクシリコンの結晶構造に損傷を生じる。欠陥除去の新しい技術として軟X線法がある。55及び205秒間,55及び70keVのX線照射を行い,その前後の値を求めた。電圧範囲-10~1V,ステップ25mV,暗環境下でウェハレベルの静的I-V特性を測定した。以上によりPtドープ及び軟X線アニーリング技術はダイオードの順方向電流を改善することを示した。

シソーラス用語： *ダイオード ,  PN接合 ,  電流 ,  *軟X線 ,  *X線照射 ,  *電流電圧特性 ,  アニーリング【現象】 ,  *格子欠陥 ,  修理
準シソーラス用語： *欠陥修復 ,  *順方向電流

分類 (3件)： ダイオード  (NC03050R) ,  X線との相互作用  (BK16030H) ,  半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 軟X線 ,  ダイオード