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J-GLOBAL ID：201302263833693838   整理番号：13A1675621

改良4-Maskを適用するためのAl腐食の防止方法

Preventing Method of Al Corrosion for Applying Improved 4-Mask

著者 (9件)： Zhang Guangming (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Liu Jie (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Xu Shouyu (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Zheng Yunyou (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Wu Chenglong (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Qu Hongming (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Li Wei (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Song Yongzhen (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing) ,  Li Zhengxun (BeiJing BOE Display Technol. Co.Ltd, Beijing)
資料名： Yejing yu Xianshi  (Yejing yu Xianshi)
巻： 28  号： 2  ページ： 224-227  発行年： 2013年 
JST資料番号： W1519A  ISSN： 1007-2780  CODEN： YYXIFY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 改良4-Maskプロセスを,製造プロセスを減少するために開発した。このプロセス工程は,いくつかの課題がある。能動エッチングと2SDのウエットエッチングの間の遅延時刻が,長過ぎた(≧5.9h)場合,能動エッチングによって使用するCL-2による,Alの腐食がある。しかしながら,それは,事態を首尾よい定着にもたらし,能動エッチング後処理でSF_6O_2を付加して,Alの腐食保護に関して良い結果を得る。そのうえ,それは,改良4-Maskプロセスに適用される結果を首尾よくもたらす。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *生産工程 ,  エッチング ,  防食 ,  後処理
準シソーラス用語： *製造プロセス ,  腐食保護

分類 (1件)： 表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (2件)： Al ,  腐食