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J-GLOBAL ID：201302264063551831   整理番号：13A0991425

ナノ気孔の作製のためのNiナノ粒子によるダイヤモンドのエッチング機構

Etching mechanism of diamond by Ni nanoparticles for fabrication of nanopores

著者 (7件)： MEHEDI Hasan-al (Inst. Neel, CNRS et Univ. Joseph Fourier, BP 166, F-38042 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  ARNAULT Jean-charles (Diamond Sensors Lab., CEA/LIST, Centre d’Etudes de Saclay, F-91191 Gif Sur Yvette, FRA) ,  EON David (Inst. Neel, CNRS et Univ. Joseph Fourier, BP 166, F-38042 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  HEBERT Clement (Inst. Neel, CNRS et Univ. Joseph Fourier, BP 166, F-38042 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  CAROLE Davy (LMI, CNRS and Univ. Claude Bernard Lyon 1, 43 Bd du 11 november 1918, F-69622 Villeurbanne Cedex, FRA) ,  OMNES Franck (Inst. Neel, CNRS et Univ. Joseph Fourier, BP 166, F-38042 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  GHEERAERT Etienne (Inst. Neel, CNRS et Univ. Joseph Fourier, BP 166, F-38042 Grenoble Cedex 9, FRA)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 59  ページ： 448-456  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁性固体膜中のナノ気孔は,DNAやリボ核酸,タンパク質などの生体高分子を分別や操作するための有望な候補材料として最近登場してきた。ここでは,自己集合したNiナノ粒子によってダイヤモンド膜中にナノ気孔を作製する簡単で,速くて費用対効果に優れたエッチング技術について提案する。このプロセスでは,水素雰囲気中で800~850°Cで薄いNi層のダイヤモンド膜を熱処理する。触媒としてのNiナノ粒子の助けによってダイヤモンド-金属界面から炭素をメタンとして除去して,その結果,ナノ粒子は結晶体積中に入る。この技法によって,リソグラフィーを少しも必要とせずに,ダイヤモンド膜中に15~225nmの範囲の水平サイズと約550nmの深さを持つナノ気孔が形成された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  膜 ,  *ナノメータ加工 ,  穴あけ ,  *ニッケル触媒 ,  ナノ粒子 ,  水素化 ,  ドライエッチング ,  気孔 ,  ナノ構造 ,  基板

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 気孔 ,  作製 ,  Ni ,  ナノ粒子 ,  ダイヤモンド ,  エッチング