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J-GLOBAL ID：201302264177882811   整理番号：13A1691136

トランスファープリンティングを用いたナノ機械要素の作製

著者 (3件)： 金子新 (首都大学東京) ,  吉野健作 (首都大学東京) ,  山下貴広 (首都大学東京)
資料名： 日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
巻： 19th  ページ： 537-538  発行年： 2013年03月14日 
JST資料番号： L3954A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： トランスファープリンティングを用いたナノ機械要素の作製法を提案する。凹凸構造を設けたPDMSスタンプに金薄膜を堆積させた後,微細溝を設けた樹脂基板に薄膜を転写させた。長さ10~50μm,厚さ100nm以下の架橋構造を作製することに成功した。また,表面粗さおよび濡れ性を変化させたスタンプを準備し,転写結果に与える影響を調査した。表面粗さを大きくすると,歩留まりが向上し,亀裂長さが短くなった。スタンプの表面粗さおよび濡れ性が,作製される架橋構造の歩留まりおよび形状精度に影響することを明からかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  部品 ,  微細構造 ,  *機械要素 ,  MEMS ,  転写
準シソーラス用語： 微細部品 ,  *トランスファプリンティング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 機械要素 ,  作製