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J-GLOBAL ID:201302264264521469   整理番号:13A0742136

Si1-xGexナノワイヤの機械特性に対する表面化学構造の影響

Effects of Surface Chemical Structure on the Mechanical Properties of Si1-xGex Nanowires
著者 (10件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 1118-1125  発行年: 2013年03月 
JST資料番号: W1332A  ISSN: 1530-6984  CODEN: NALEFD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シランおよびゲルマンを前駆体,金ナノ粒子を触媒,水素をキャリアガスとする低圧化学蒸着法によってSi(111)基板にSi1-xGexナノワイヤおよびSi1-xGex/Al2O3ナノワイヤを作製した。ナノマニピュレータを用いてこれらの表面からナノワイヤを引上げ,Young率および破断強さを測定してGe含有率xの影響を調べた。Young率はxの増加とともに減少した。破断強さは一定の傾向を示さなかったが熱アニール処理するとxの増加とともに減少した。格子間Geの減少によってこの結果を説明した。
シソーラス用語:
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分類 (2件):
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原子・分子のクラスタ  ,  無機化合物一般及び元素 
タイトルに関連する用語 (3件):
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