文献

J-GLOBAL ID：201302264703843320   整理番号：13A1632071

高感度アンモニア気体検出器の量産のための高度配向した還元グラフェン酸化物マイクロベルトアレイの製作

Fabrication of highly oriented reduced graphene oxide microbelts array for massive production of sensitive ammonia gas sensors

著者 (7件)： ZHANG Jia (Harbin Inst. of Technol., Ministry of Education, Harbin, CHN) ,  ZHANG Rongfu (Harbin Inst. of Technol., Ministry of Education, Harbin, CHN) ,  WANG Xiaona (Harbin Inst. of Technol., Ministry of Education, Harbin, CHN) ,  FENG Wei (Harbin Inst. of Technol., Ministry of Education, Harbin, CHN) ,  HU PingAn (Harbin Inst. of Technol., Ministry of Education, Harbin, CHN) ,  O’NEILL William (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR) ,  WANG Zhenlong (Harbin Inst. of Technol., Ministry of Education, Harbin, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 9  ページ： 095031,1-8  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,パターン形成された還元グラフェン酸化物(rGO)シートで構成したアンモニア(NH₃)センサーが注目されている。本稿では,大面積の高度配向したrGOマイクロベルトアレイを製作する新しいソフトリソグラフィーとアニーリングによる製作法について報告した。このrGOマイクロベルトアレイを使って製作したNH₃センサアレイは,相対抵抗応答(ΔR/R₀)が0.35で,10ppm~38%の大きい濃度範囲応答を持つことが分かった。さらに,センサ上でのNH₃吸着/脱着に対する温度の影響についても報告した。この製作法はrGOに基づく気体検出器の量産法として期待される。

シソーラス用語： *酸化物 ,  *炭素材 ,  ナノ構造 ,  *アンモニア ,  高感度 ,  *ガス検出器 ,  濃度測定 ,  パターン形成 ,  リソグラフィー ,  焼なまし
準シソーラス用語： アニーリング ,  *グラフェン酸化物 ,  ソフトリソグラフィー ,  *気体検出器

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高感度 ,  アンモニア ,  気体検出器 ,  量産 ,  高度 ,  配向 ,  還元グラフェン酸化物 ,  製作