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J-GLOBAL ID:201302264730050277   整理番号:13A0343786

導電性銀軌跡上の印刷力効果:形状,表面,および電気的特性

Printing Force Effect on Conductive Silver Tracks: Geometrical, Surface, and Electrical Properties
著者 (3件):
資料名:
巻: 22  号:ページ: 640-649  発行年: 2013年02月 
JST資料番号: C0161B  ISSN: 1059-9495  CODEN: JMEPEG  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究は,スクリーン印刷により堆積した銀軌跡の特性に及ぼす印刷力の効果を定量的に調査した。銀粒子含有量が75%の水溶性銀ペーストを,スクリーン印刷法により練り付けて印刷した。線の鮮明度,厚さ,幅,粗度,および電気的特性に及ぼす印刷力の効果を評価した。印刷線幅として,理論的限界である100μmの最小幅を目標とした。その結果,印刷力が5kgで,線幅:114μm,線厚み:14μmを達成した。この事から,線の鮮明度向上および印刷厚み増加と幅減少のためには,より高い印刷力が必要な事がわかった。一方,焼結後の印刷線の粗度および導電率に対して印刷力は何らの影響も及ぼさなかった。焼結後の電気抵抗率は,18×10-9~30×10-9Ω・mの範囲で変化した。焼結後印刷薄膜上の板の電気抵抗も測定して,厚みが3.9から6.6μmに増えると電気抵抗率が4.5から5.9m・Ω/squareに変化する事を明らかにした。Copyright 2012 ASM International Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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電気的性質  ,  固体デバイス製造技術一般 
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