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J-GLOBAL ID：201302264860772622   整理番号：13A0077642

仮想センサアレイとしてナノ構造化した薄膜で出来た選択性室温アルコールセンサ

Selective room temperature nanostructured thin film alcohol sensor as a virtual sensor array

著者 (4件)： BECKERS N.a. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Alberta, Edmonton, AB, Canada T6G 2V4) ,  TASCHUK M.t. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Alberta, Edmonton, AB, Canada T6G 2V4) ,  BRETT M.j. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Alberta, Edmonton, AB, Canada T6G 2V4) ,  BRETT M.j. (NRC National Inst. for Nanotechnology, Edmonton, AB, Canada T6G 2M9)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 176  ページ： 1096-1102  発行年： 2013年01月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 櫛形電極上にすれすれ入射角蒸着に依って作製したナノ構造化したSiO₂薄膜を室温アルコールセンサとして用いた。振動数に依って代わる静電容量とインピーダンス双方がメタノール,エタノール,1-プロパノール,2-プロパノールと1-ブタノールに対するセンサ応答を分析するのに用いられた。センサ応答性は同じ組み合わせのアルコールに対して全パーセント蒸気飽和領域で吟味されそしてサンプルとしてエタノールに対する検出限界を求めた。エタノールに対するこの応答と再生時間はパルステストと応答性曲線から決められ各々66sと76sの値が得られた。センサ寿命は同じアルコールの組み合わせに対してUV-LEDの照射のあるなしに関して吟味した。エタノールと1-ブタノールの検出に対するセンサのエージングはUV-LEDからの照射時に大きく減少したがこのUV-LEDはメタノール,1-プロパノールと2-プロパノールに対するエージングには殆ど効果が無かった。このセンサの振動数依存応答性曲線を用いてメタノール,エタノールと2-プロパノール間のブラインドプロトコールテストで区別する為の単一センサを可能にする方法を開発した。7回の試みで5回,このアルゴリズムは成功裏にアルコールと濃度双方を同定しそれ故に室温単一センサ選択性を証明した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *センサアレイ ,  プロトタイピング ,  試作 ,  ナノ構造 ,  *電極 ,  選択性 ,  室温 ,  *二酸化ケイ素 ,  酸化物 ,  薄膜 ,  静電容量 ,  インピーダンス ,  *感度 ,  性能 ,  能力 ,  検出限界 ,  曲線 ,  寿命試験 ,  発光ダイオード ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： UV-LED ,  応答曲線 ,  仮想試作 ,  *櫛形電極 ,  *検出性能 ,  酸化物薄膜

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (5件)： 1-ブタノール ,  1-プロパノール ,  2-プロパノール ,  エタノール ,  メタノール

タイトルに関連する用語 (7件)： 仮想センサ ,  アレイ ,  ナノ構造 ,  薄膜 ,  選択性 ,  室温 ,  アルコール