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J-GLOBAL ID:201302264958806142   整理番号:13A0557293

ゾルゲル法で作製したBi(Zn1/2Zr1/2)O3-PbTiO3強誘電性薄膜の大きな残留分極と小さな漏洩

Large remanent polarization and small leakage in sol-gel derived Bi(Zn1/2Zr1/2)O3-PbTiO3 ferroelectric thin films
著者 (8件):
資料名:
巻: 42  号:ページ: 585-590  発行年: 2013年01月14日 
JST資料番号: A0270A  ISSN: 1477-9226  CODEN: DTARAF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Pt(111)/Ti/SiO2/Si基板上に原料分散液をスピンコート塗布し焼結するゾルゲル法で,(1-x)Bi(Zn1/2Zr1/2)O3-xPbTiO3(x=0.7~0.9)(BZZ-PT)薄膜(約200nm厚)を作製した。薄膜はXRD(X線回折)で明瞭に(100)に配向したペロブスカイト構造を示した。X=0.8の薄膜は大きな残留分極110μCcm-2および微少の漏洩電流(150kVcm-1で3.8×10-7Acm2)を示した。分極反転の繰り返し特性は108回程度までほぼ一定(109回で74.2%)の特性を示し強誘電性RAM応用の可能性を示した。
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
強誘電体,反強誘電体,強弾性  ,  塩基,金属酸化物 

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