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J-GLOBAL ID：201302265204754843   整理番号：11A0027879

オーステナイトAISI304スパッタリングすることによって堆積するステンレス鋼膜の細い酸化被膜と界面のDCEMS研究

DCEMS study of thin oxide layers and interface of stainless steel films deposited by sputtering austenitic AISI304

著者 (6件)： NOMURA K ,  TAKAHASHI K ,  TAKEDA M ,  SHIMIZU K ,  HABASAKI H ,  KUZMANN E
資料名： HYPERFINE INTERACTIONS
巻： 156  号： 1  ページ： 629-636  発行年： 2004年 
JST資料番号： O2683A  ISSN： 0304-3843  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： オーステナイト ,  AISI304 ,  スパッタリング ,  堆積 ,  ステンレス鋼 ,  酸化被膜 ,  界面 ,  研究