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J-GLOBAL ID：201302265219923668   整理番号：13A0840894

垂直電流モードで操作する薄膜ガスセンサー

Thin-film gas sensors operating in a perpendicular current mode

著者 (2件)： ISHIKAWA Yurie (Tokyo Denki Univ., JPN) ,  HARA Kazuhiro (Tokyo Denki Univ., JPN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 181  ページ： 932-937  発行年： 2013年05月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜センサーは微細な亀裂の増加に伴って劣化する傾向を持つ。これらの微細な亀裂はセンサー薄膜の表面に対して通常垂直方向に生じる。それらは高温アニールプロセス時の薄膜の焼結に伴う収縮によって起こる。ある亀裂は熱サイクル中のセンサー薄膜と基質の熱膨張係数の違いによって起こる収縮と膨張によっても起こる。この論文において,亀裂の不都合な効果を避ける案の一つとして,薄膜ガスセンサーを垂直電流モードで操作することを提案する。このモードを達成するために,通常は基質に蒸着して作られる電極の代わりにセンサーフィルム上に多孔質トップ電極が蒸着して作られた。センサー電流は薄膜の表面に対して直角に流れ,亀裂によってブロックされることがない。センサー使用時の抵抗の変化は従来の平衡電流モードで操作する場合と比較して安定である。実験データによりWO₃センサー薄膜に多孔質Ptトップ電極つけたガスセンサーを用いた場合,水素に対して選択的に感度があり,比較的速い応答と回復時間を持っていることが示された。特にPtトップ電極は触媒として働き,水素に対する応答と選択性の向上に有効であった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  センサ ,  亀裂発生 ,  *酸化タングステン ,  多孔質電極 ,  選択性 ,  熱劣化 ,  微小亀裂 ,  三酸化タングステン ,  *水素センサ ,  *薄膜センサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 垂直 ,  電流モード ,  薄膜 ,  ガスセンサー