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J-GLOBAL ID：201302265631107522   整理番号：13A1689623

光ファイバーOESによるマイクロ波ECRプラズマ源中のH₂:CH₄分離レベルの空間特性

Spatial characterization of H₂:CH₄ dissociation level in microwave ECR plasma source by fibre-optic OES

著者 (3件)： BOGDANOWICZ R. (Gdansk Univ. of Technol., Dep. of Metrology and Optoelectronics, Fac. of Electronics, Telecommunications and ...) ,  GOLUNSKI Lukasz (Gdansk Univ. of Technol., Dep. of Metrology and Optoelectronics, Fac. of Electronics, Telecommunications and ...) ,  SOBASZEK Michal (Gdansk Univ. of Technol., Dep. of Metrology and Optoelectronics, Fac. of Electronics, Telecommunications and ...)
資料名： European Physical Journal. Special Topics  (European Physical Journal. Special Topics)
巻： 222  号： 9  ページ： 2223-2232  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： W2178A  ISSN： 1951-6355  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光ファイバー ,  マイクロ波 ,  ECRプラズマ ,  H2 ,  空間特性