抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電子部品の加工や処理工程では対象物の表面が汚染されていると欠陥の原因となり,不良品となってしまう。そこで洗浄が行われるが,要求される清浄度は部品の精密さや使用装置の求める信頼性の高さに対応して高度となる。洗浄される物体が繊細な物であれば,通常の洗浄方法を強化しても損傷を受けることが考えられる。そこで,被洗浄物に損傷を与えずに必要な清浄面を得るための精密洗浄の新しい課題が生じる。そのような洗浄課題を克服してきた事例を検証して,同様な事態に対処するための要点について考察した。