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J-GLOBAL ID：201302265858806117   整理番号：13A0961810

スマート被覆を可能にするタングステンカーバイド-コバルトの鉛ジルコネートチタネート被覆

Lead zirconate titanate coating of tungsten carbide-cobalt to enable smart coatings

著者 (6件)： WOOLLIAMS Peter. D. (Materials Div., National Physical Lab., Hampton Road, Teddington, Middlesex TW12 1LE, GBR) ,  WEAVER Paul. M. (Materials Div., National Physical Lab., Hampton Road, Teddington, Middlesex TW12 1LE, GBR) ,  CORREIA Tatiana M. (Materials Div., National Physical Lab., Hampton Road, Teddington, Middlesex TW12 1LE, GBR) ,  CAIN Markys G. (Materials Div., National Physical Lab., Hampton Road, Teddington, Middlesex TW12 1LE, GBR) ,  PICKWELL Andrew (Cranfield Univ., Cranfield, Bedfordshire MK43 0AL, GBR) ,  DOREY Robert A. (Cranfield Univ., Cranfield, Bedfordshire MK43 0AL, GBR)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 194  ページ： 47-51  発行年： 2013年05月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スマート被覆は,材料に追加されるセンシングおよび動作性能を向上する。圧電被覆,特にPZT(鉛ジルコネートチタネート)は,広い領域の金属および半導体基板で使われている。WC-Co(タングステンカーバイド-コバルト)はその硬度および耐摩耗性により金属処理産業において拡張的に用いられている。金属切断端面に近い圧電被覆応用能力は切断プロセスの改善制御を可能にし,製造プロセスにおける品質改善および電力消費低減をもたらす。しかし,WCは代表的PZT処理時の酸化にセンシティブであり,機能PZT薄膜開発における課題となっている。本論文では,WC-Co基板上へ高品質結晶PZT(Pb_0.52Zr_0.48TiO₃)薄膜を蒸着するための低温溶液-ゲル化(ゾルゲル)プロセスの使用につき報告した。レーザDoppler振動計測法は,19pC/Nの有効d₃₃係数を備えた顕著な圧電活性を示した。誘電率および圧電係数の双方は,導電性WC-Co基板とPZT間の絶縁PbWO₄酸化物中間層の形成により予想よりも低くなった。中間層への考慮によりPZTのd₃₃圧電係数は85pC/Nとなった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *メタライゼーション ,  スマート構造 ,  *炭化タングステン ,  コバルト ,  *圧電材料 ,  ゾル-ゲル法 ,  誘電率 ,  定数 ,  薄膜 ,  多層構造
準シソーラス用語： スマート材料 ,  *タングステンカーバイド ,  圧電係数 ,  *金属被覆 ,  中間層 ,  導電性膜

分類 (2件)： 表面処理一般  (WC08010R) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： タングステンカーバイド ,  コバルト ,  鉛