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J-GLOBAL ID：201302265897553188   整理番号：13A0860348

センサ飽和したAM-AFMシステム解析と出力フィードバック制御設計

AM-AFM System Analysis and Output Feedback Control Design With Sensor Saturation

著者 (4件)： FANG Yongchun (Nankai Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHANG Yudong (Nankai Univ., Tianjin, CHN) ,  QI Ningning (Nankai Univ., Tianjin, CHN) ,  DONG Xiaokun (Nankai Univ., Tianjin, CHN)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 12  号： 2  ページ： 190-202  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)ではタッピングモードと称する振幅変調AFM(AM-AFM)が来初され性能を高めている。しかし,測定制約によってAFMで頻繁に発生する出力飽和現象がAFMシステム性能解析では通常無視されている。現在のAF-AFMの欠点を克服するためにAF-AFMの挙動を調べ,高速走査に適合する出力フィードバックロバスト適合制御(OFRAC)を提案する。AF-AFMシステムのパラメータが圧電スキャナーやカンチレバーの組み合わせが異なると変化することを考慮して,圧電スキャナーのOFRACをカンチレバーの振動振幅を様々な複雑な状況下でも要求した設定値に保つように設計した。提案した制御方式はシステムが有限時間内に飽和しないように働く。OFRAC方式を仮想のAM-AFMに適用すると,結果は高速走査にたいしてより優れた画像性能を示すことが明らかに示された。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  振幅変調 ,  *適応制御 ,  飽和 ,  モード ,  フィードバック制御 ,  片持梁 ,  振動振幅 ,  Lyapunov関数
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  アダプティブ制御 ,  カンチレバー ,  タッピングモード ,  *出力フィードバック制御

分類 (1件)： 原子間相互作用  (BH04020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 飽和 ,  システム解析 ,  出力フィードバック制御 ,  設計