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J-GLOBAL ID：201302266111557653   整理番号：13A0697631

真空蒸着装置によるタングステン再結晶処理

著者 (1件)： 宮本好雄 (九大 応用力学研)
資料名： 九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート  (Technical Reports by Technical Staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University)
巻： 14  ページ： 13-14  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： L6821A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属の再結晶処理では通常,石英管を用いて実施するが,高融点金属であるタングステンの場合石英の軟化温度以上に再結晶温度があるため利用できない。このため,著者は真空蒸着装置を改造し,真空中での通電加熱による加熱を利用する再結晶実験を提案し,実験した。0.5mm厚のタングステン板を供試材とし,通電加熱実験を実施した。この結果,処理前においては光学顕微鏡観察では観察できない結晶粒度であったが,処理後は100μm程度まで再結晶・粗大化が起きており光学顕微鏡で観察することができた。この実験から,本技法が有効であることが検証できた。

シソーラス用語： *タングステン ,  *再結晶 ,  *抵抗加熱 ,  蒸着装置

分類 (2件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  熱処理技術  (WC03020T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空蒸着 ,  タングステン ,  再結晶