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文献
J-GLOBAL ID:201302266115377889   整理番号:13A1216259

スパッタリング法による人工光合成用酸化チタン電極の合成

著者 (1件):
資料名:
号: 47  ページ: 21-25  発行年: 2012年12月21日
JST資料番号: S0436A  ISSN: 0385-4124  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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人工光合成に必要な水を光分解し水素イオンと電子を効率よく生成する酸化チタン電極の結晶構造と様々な結晶面を持った薄膜を得るための作製条件を示した。反応性マグネトロンスパッタリング法によりTiO2薄膜を作製する際に成膜圧力や酸素分圧を変化させると共に単結晶基板の種類と結晶面によるTiO2薄膜の結晶構造と配向性の変化をX線回折法により評価する方法と結果を示した。成膜圧力を変えることにより単相のルチル型とアナターゼ型のTiO2薄膜を作製できることがわかった。酸素分圧の変化は影響がないことがわかった。様々な基板材料と基板結晶面を用いることにより3種類のTiO2薄膜と7種類の配向性をもつTiO2薄膜を作製できた。
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分類 (2件):
分類
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酸化物薄膜  ,  光化学反応 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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