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J-GLOBAL ID：201302266382734615   整理番号：13A1756335

はじめての精密工学 走査電子顕微鏡(SEM)の像シャープネス評価法

著者 (1件)： 佐藤貢 (日立ハイテクノロジーズ 研究開発本部)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 79  号： 11  ページ： 1009-1012  発行年： 2013年11月05日 
JST資料番号： F0268C  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では,SEM像シャープネス評価法としてISO/TC202/SC4で標準化を進めているDR法(Derivative法)について解説した。主な内容項目を次に示した。1)はじめに:SEMの分解能と像シャープネスの関係,ISO/TC202/SC4の経緯,2)SEMの像形成と像シャープネスの定義:SEMの像形成原理,二値画像とガウス分布の畳み込み画像,3)DR法の原理:プローブ径よりも十分に長いエッジ領域を垂直走査したときのラインプロファイル,DR法の手順とDR法の各手順で得られるデータ,4)DR法の評価結果:人工画像による像シャープネス評価(ガウス分布でぼかした人工画像の例,R_theoryと像シャープネス評価精度(R/R_theory),像シャープネス理論値(R_theory)が一定でCNR(Contrast-to-noise ratio)の異なる人工画像の例,CNRの違いによる像シャープネス評価値の精度,CNRが7.76と59.9の画像のラインプロファイル,DR法による評価誤差が大きい画像の例など,5)像シャープネスの試料依存性:異なる試料のSEM像に対するシャープネス評価値と加速電圧の関係,試料Aと試料Bを30度で傾斜観察したSEM像など。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *鮮鋭度 ,  *ISO規格 ,  分解能 ,  正規分布 ,  二値画像 ,  電圧 ,  *性能評価 ,  畳込み ,  コントラスト
準シソーラス用語： *コントラストノイズ比 ,  加速電圧

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (13件)：

• 1) ISO/TS 24597, Methods of Evaluating Image Sharpness, 2011.
• 2) G. F. Lorusso and D. C. Joy : Experimental Sharpness Measurement in Critical Dimension Scanning Electron Microscope Metrology, Scanning, 25, 4 (2003) 175-180.
• 3) J. Dijk, et al. : A New Sharpness Measure Based on Gaussian Lines and Edges, N. Petkov and M. A. Westenberg, Editors, 10th International Conference on Computer Analysis of Images and Patterns (Groningen, The Netherlands), 2756 (2003)149-156.
• 4) S. Park, S. Reichenbach and R. Narayanswamy : Characterizing Digital Image Acquisition Devices, Opt. Eng., 30, 2 (1991) 170-177.
• 5) T. Q. Pham : Spatiotonal Adaptivity in Super-Sharpness of Under-sampled Image Sequences, PhD. Thesis, Delft University of Technology, 2006, Delft, The Netherlands (Chapter 5.3 and Appendix B. 2).

タイトルに関連する用語 (6件)： 精密工学 ,  走査電子顕微鏡 ,  SEM ,  像 ,  シャープネス ,  評価法