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J-GLOBAL ID：201302267783520789   整理番号：13A0032598

RF MEMS(無線周波数マイクロ電気機械システム)素子での亀裂シミュレーションのための有限体積法

FINITE VOLUME METHOD FOR SIMULATION OF CREEP IN RF MEMS DEVICES

著者 (3件)： DAS Shankhadeep (Purdue Univ., IN) ,  KOSLOWSKI Marisol (Purdue Univ., IN) ,  MATHUR Sanjay R. (Purdue Univ., IN)
資料名： Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition  (Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition)
巻： 2011  号： Vol.11  ページ： 119-128  発行年： 2012年 
JST資料番号： W2290A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： RF ,  MEMS ,  無線周波数 ,  電気機械 ,  亀裂 ,  シミュレーション ,  有限体積法