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J-GLOBAL ID：201302268005089228   整理番号：13A0385572

Fabrication of three-dimensional structures of resist by proton beam writing

著者 (8件)： KAMIYA T ,  ISHII Y ,  OIKAWA M ,  SATO T ,  HAGA J ,  NISHIKAWA H ,  UCHIYA N ,  FURUTA Y
資料名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
巻： 25  号： 6  ページ： 2171-2174  発行年： 2007年 
JST資料番号： O3242A  ISSN： 1071-1023  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)