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J-GLOBAL ID：201302268245922164   整理番号：13A1598120

MEMSセンサ技術 MEMSセンサを使った電力削減の可能性検討

著者 (1件)： 白木和久 (オムロン)
資料名： 電気評論  (Electrical Review)
巻： 98  号： 10  ページ： 47-51  発行年： 2013年10月10日 
JST資料番号： G0720A  ISSN： 0285-5860  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSセンサを使用して,クリーンルームの空調設備における電力削減について検討した。クリーンルームでは,風速とともに風向を把握し,飛散するパーティクルを考慮する必要がある。X軸とY軸の2方向の風速の検知が可能な2軸フローセンサを90度ずらして配置して風向,風速を検知した結果,パーティクルが不安定になる斜流ポイントを識別でき,温湿度による環境変化も検知できるため最適運転による電力削減が可能である。また,通路状のベイ方式クリーンルームでサーモバイル式MEMSサーマルセンサを人感センサとして使用し,作業員不在時の適正運転による電力削減を達成した。

シソーラス用語： センサ ,  MEMS ,  *クリーンルーム ,  *空気調和装置 ,  *消費電力 ,  *省エネルギー ,  風速計 ,  風向計
準シソーラス用語： *MEMSセンサ ,  *フローセンサ ,  サーマルセンサ ,  人感センサ

分類 (2件)： エネルギー消費・省エネルギー  (LD01000B) ,  換気  (PC02040B)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMSセンサ ,  可能性