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J-GLOBAL ID：201302268290984812   整理番号：13A1641120

フッ素ベースの液体前駆体を用いた疎水性コーティングの大気圧プラズマ増強化学気相堆積

Atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition of hydrophobic coatings using fluorine-based liquid precursors

著者 (6件)： YIM Jacqueline H. (United States Army Res. Lab., 4600 Deer Creek Loop, Aberdeen Proving Ground, MD, 21005, USA) ,  RODRIGUEZ-SANTIAGO Victor (United States Army Res. Lab., 4600 Deer Creek Loop, Aberdeen Proving Ground, MD, 21005, USA) ,  WILLIAMS Andre A. (United States Army Res. Lab., 4600 Deer Creek Loop, Aberdeen Proving Ground, MD, 21005, USA) ,  GOUGOUSI Theodosia (Dep. of Physics, Univ. of Maryland Baltimore County (UMBC), Baltimore, MD 21250, USA) ,  PAPPAS Daphne D. (United States Army Res. Lab., 4600 Deer Creek Loop, Aberdeen Proving Ground, MD, 21005, USA) ,  HIRVONEN James K. (United States Army Res. Lab., 4600 Deer Creek Loop, Aberdeen Proving Ground, MD, 21005, USA)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 234  ページ： 21-32  発行年： 2013年11月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,超高分子量ポリエチレン(UHMWPE)膜上の疎水性薄膜コーティングを開発するために大気圧プラズマジェット(APPJ)について研究した。異なるフルオロカーボン鎖長さを持つ,フルオロアルキルシラン,(CH₃CH₂O)₃SiCH₂CH₂(CF₂)₇CF₃と(CH₃O)₃SiCH₂CH₂CF₃,およびフルオロアリールシラン,F₅ArSi(OCH₂CH₃)₃モノマーを,プラズマ増強化学気相堆積(PECVD)により重合した。電極-基板ギャップ距離および堆積時間といったプロセス条件に加えて,これら前駆体について,堆積状態の薄膜コーティング全体の堆積特性と疎水性挙動に対するこれら因子が持つ影響を理解するために研究した。全反射フーリエ変換赤外(ATR-FTIR)およびX線光電子分光(XPS)法は,コーティングの化学組成がバルクのモノマー化学を維持し,プラズマ中で前駆体の分裂程度の低さを示した。このことは,フルオロアリールシラン前駆体を用いて得たコーティングにより特に維持され,そこでは芳香族構造が無傷で保持された。コーティングの疎水性を水接触角(WCA)測定により得て,厚さと形態は形状測定器,走査電子顕微鏡(SEM)および原子間力顕微鏡(AFM)を用いて調べた。フルオロカーボンコーティング組成の変化が堆積条件の結果として観察されたが,優勢な因子はモノマー前駆体であることが明らかとなった。WCAおよびCF_n基の濃度に見られる傾向から明らかにされるように,最も長いフルオロカーボン鎖を持つモノマーから生成したコーティングで最適な疎水性挙動が観察された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 母材 ,  *超高分子量ポリエチレン ,  *疎水性 ,  薄膜 ,  *皮膜 ,  *アルキル基 ,  *シラン誘導体 ,  フッ素化 ,  *アリール基 ,  前駆体 ,  プラズマCVD ,  *プラズマ重合 ,  化学組成 ,  接触角 ,  プラズマジェット ,  鎖長効果
準シソーラス用語： PECVD ,  UHMWPE ,  *フルオロアリール基 ,  *フルオロアルキル基 ,  基材 ,  水接触角 ,  大気圧プラズマジェット

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： フッ素 ,  前駆体 ,  疎水性 ,  コーティング ,  大気圧プラズマ ,  増強 ,  化学気相堆積