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J-GLOBAL ID：201302268653443401   整理番号：13A1465797

ルテニウム/マンガン表面における酸素触媒反応機構とRu/Mn系銅拡散障壁層の熱力学的安定性のin situ研究

In Situ Investigations into the Mechanism of Oxygen Catalysis on Ruthenium/Manganese Surfaces and the Thermodynamic Stability of Ru/Mn-Based Copper Diffusion Barrier Layers

著者 (7件)： CASEY Patrick (Dublin City Univ., Dublin, IRL) ,  MCCOY Anthony P. (Dublin City Univ., Dublin, IRL) ,  BOGAN Justin (Dublin City Univ., Dublin, IRL) ,  BYRNE Conor (Dublin City Univ., Dublin, IRL) ,  WALSH Lee (Dublin City Univ., Dublin, IRL) ,  O’CONNOR Robert (Dublin City Univ., Dublin, IRL) ,  HUGHES Greg (Dublin City Univ., Dublin, IRL)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 117  号： 31  ページ： 16136-16143  発行年： 2013年08月08日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ru/Mn表面の触媒能に対するRu存在の影響について調べることを目的とし,Ru上のMnO超薄層のO₂分子に対する触媒反応を研究した。また,銅拡散障壁層であるMnO/MnSiO₃およびMnSiO₃超薄層の熱力学的安定性と化学組成に対する,Ru存在の影響を研究した。実験は,超高真空下in situ実験法を用いたX線光電子分光法を行った。その結果,Ru/Mn表面にO₂を曝すとO₂は解離し,表面に化学吸着してMnOを形成することがわかった。これをアニーリングすると,MnOは解離してO₂が脱着することを示した。MnO表面での結果と比較することにより,RuはMnO解離エネルギーを減少させることを示した。また,Ru/Mn系銅拡散障壁層の熱力学的安定性について研究を行った結果,MnOおよびMnSiO₃の部分解離を観測し,この系においてもRuが存在することにより,Mn-O結合の解離エネルギーが減少することを示した。

シソーラス用語： *ルテニウム ,  *酸化マンガン ,  ケイ酸塩 ,  *触媒活性 ,  酸素 ,  拡散障壁 ,  *その場観察 ,  熱力学的安定度 ,  化学組成 ,  超高真空 ,  X線光電子分光法 ,  化学吸着 ,  解離エネルギー ,  *表面
準シソーラス用語： *バイメタル表面

分類 (3件)： 不均一系触媒反応  (CB06100E) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (11件)： ルテニウム ,  マンガン ,  酸素 ,  触媒反応 ,  Ru ,  Mn ,  銅 ,  拡散 ,  障壁層 ,  熱力学的安定性 ,  研究