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J-GLOBAL ID：201302268749882287   整理番号：13A1793622

湿度ドリフト補償を備えたQCMアンモニアガスセンサの作製

Quartz Crystal Microbalance (QCM) Sensor for NH₃ Gas with the Compensation of the Humidity Drift

著者 (7件)： 牛見義光 ((株)村田製作所) ,  伊藤吉博 ((株)村田製作所) ,  堀内秀哉 ((株)村田製作所) ,  門田道雄 ((株)村田製作所) ,  野崎良美 ((株)SNT) ,  堀田芳生 ((株)SNT) ,  白鳥世明 (慶應義塾大学理工学部)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133  号： 6  ページ： 184-189 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,リファレンス素子を用いて,湿度による周波数ドリフトを補償したQCMアンモニアガスセンサの作製と小型QCMへの展開を検討した。感応膜材料であるリン酸ジルコニウムのリン酸基を水酸化ナトリウムで修飾させた材料をリファレンス膜材料とすることで,アンモニアへ応答せず湿度応答はセンサ素子と類似したリファレンス素子が作製できた。これにより,センサ素子とリファレンス素子の共振周波数の差分をとることで,湿度による周波数ドリフトが補償でき,アンモニアへの応答が測定できることを示した。小型QCMへの適応を検討し,センサ素子とリファレンス素子の湿度応答はおおむね類似しており,小型QCMへの展開が可能であることを示した。

シソーラス用語： *アンモニア ,  *ガスセンサ ,  湿度 ,  補償 ,  ドリフト不安定性 ,  ドリフト ,  共振周波数 ,  センサ ,  水晶振動子 ,  微量天秤 ,  標準物質 ,  比較試験 ,  臭気源 ,  *匂いセンサ ,  *環境モニタリング
準シソーラス用語： QCMセンサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  有害ガス調査測定  (SB03050T)

引用文献 (15件)：

• (1) 清山哲郎:「化学センサ実用便覧」, フジ・テクノシステム, pp.222-225 (1986)
• (2) 大森豊明:「普及版センサ技術」, フジ・テクノシステム, pp.241-251 (1998)
• (3) S. Shiratori, Y. Inami, and M. Kikuchi : “Removal of toxic gas by hybrid chemical fabricated by the sequential adsorption of polymers”, Thin Solid Films, Vol.393, No.1-2, pp.243-248 (2001)
• (4) B. Ding, J. Kim, Y. Miyazaki, and S. Shiratori : “Electrospun nanofibrous membrans coated quartz crystal microbalance as gas sensor for NH₃ detection”, Sensor and Actuators B, Vol.101, No.3, pp.373-380 (2004)
• (5) J. H. Kim, S. H. Kim, and S. Shiratori : “Fabrication of nanoporous and hetero structure thin film via a layer-by layer self assembly method for a gas sensor”, Sensor and Actuators B, Vol.102, No.2, pp.241-247 (2004)

タイトルに関連する用語 (7件)： 湿度 ,  ドリフト ,  補償 ,  QCM ,  アンモニア ,  ガスセンサ ,  作製