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J-GLOBAL ID：201302268844060839   整理番号：13A1028335

マイクロフルイディクスのための誘電率ベースのボイド比検出

Permittivity-based void fraction sensing for microfluidics

著者 (2件)： GIJSENBERGH Pieter (KU Leuven ESAT-MICAS, Leuven, BEL) ,  PUERS Robert (KU Leuven ESAT-MICAS, Leuven, BEL)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 195  ページ： 64-70  発行年： 2013年06月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 幅100μmと深さ500μmのシリコン・マイクロチャンネルにおけるマイクロフルイディックスアプリケーションのための容量形ボイド比センサーのデザイン,製作およびインテグレーションが説明される。シミュレーション・データが,提示されて,議論される。そして,中間的スパッタパイレックス・レイヤでのシリコンに対するガラスダイスの穴あけとガラスの陽極接着を伴う最も重要な微細加工ステップが,解明される。読み出し回路は,大振幅アナログ出力信号に容量形入力信号を変換するように設計された。信号処理アルゴリズムが説明される。マイクロチャンネルを通してポンプで送られた空気/水混合体の中のガス含有量の関数として出力信号の変分を示している測定値が提示される。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 誘電率 ,  空隙率 ,  チャネル ,  微細加工 ,  *流体素子 ,  *検出 ,  マイクロチャネル ,  マイクロ流体デバイス
準シソーラス用語： *ボイド比 ,  マイクロ流体素子 ,  マイクロ流体チャネル

分類 (2件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロフルイディクス ,  誘電率 ,  ボイド比