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J-GLOBAL ID：201302269052456030   整理番号：13A0814742

二波長レーザ書込み技術を用いたマイクロ光学作製に関するバイメタルグレースケールフォトマスク

Bimetallic Grayscale Photomasks for Micro-optics Fabrication Using Dual Wavelength Laser Writing Techniques

著者 (2件)： QAREHBAGHI Reza (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  CHAPMAN Glenn H. (Simon Fraser Univ., BC, CAN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8522  ページ： 85222K.1-85222K.12  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二重波長グレースケールマスクレーザ書き込み及び測定システムを開発した。多重線アルゴンレーザを,単一レーザ線に分割することに成功した。最も強力な線をビーム経路に向け,書込みビームとして用いた。最短波長も,プロービングビームとして使用し,ターゲットマスクの光密度を測定した。このシステムは二つの計測に利用できる。第一は,書き込みながらの実時間における測定で,第二の方法は,マスクがパターン化された後の測定である。レーザ線フィルタを用いて,書込みレーザビームを,プロービングのみを残してビーム経路から除去できる。

シソーラス用語： グレースケール ,  レーザ記録 ,  *フォトマスク ,  *Arレーザ ,  計測システム ,  *レーザ応用 ,  レーザビーム ,  バイメタル ,  積層材料 ,  プローブ ,  光学系 ,  記録装置 ,  フィルタリング
準シソーラス用語： アルゴンレーザ ,  マイクロ光学素子 ,  レーザプローブ ,  レーザ応用計測 ,  書込装置

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  気体レーザ  (BD04040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二波長レーザ ,  書込み ,  光学 ,  作製