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J-GLOBAL ID：201302269106310606   整理番号：13A0228962

MoO₂をドープしたSnO₂透明導電薄膜

A Study of MoO₂ Doped SnO₂ Transparent and Conductive Thin Films

著者 (2件)： SUN S. (H.C. Starck, Inc., MA) ,  KUMAR P. (H.C. Starck, Inc., MA)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 55th  ページ： 552-556  発行年： 2012年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しいタイプのMoO₂をドープしたSnO₂透明導電薄膜の製造と性能について述べた。2.5~7.5at%MoO₂とSnO₂からなる混合粉を焼結して,密度が85%以上のターゲットを作製した。DCマグネトロンスパッタリングにより作製した薄膜(膜厚100nm)を,100°Cで焼鈍した。薄膜の電気抵抗率は2.1x10^-3Ωcm,可視光の透過率は89.3%であった。酸素空孔の影響,残留応力,エッチング挙動などについて議論した。この薄膜の湿度および温度に対する耐性はAl添加酸化亜鉛よりも優れており,光電子技術分野だけでなくフラットパネルディスプレイへの応用も期待できる。

シソーラス用語： 酸化モリブデン ,  ドーピング ,  *酸化スズ ,  *透明導電膜 ,  ターゲット ,  マグネトロンスパッタリング ,  膜厚 ,  焼なまし ,  *電気抵抗率 ,  透過率 ,  残留応力 ,  耐湿性 ,  耐熱性 ,  フラットパネルディスプレイ
準シソーラス用語： 光電子デバイス

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (2件)： ドープ ,  透明導電薄膜