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J-GLOBAL ID：201302270498173960   整理番号：13A0505101

裏面照射のためのN-on-P構造を用いた拡張波長640×1リニアInGaAs検出器アレー

Extended-wavelength 640×1 linear InGaAs detector arrays using N-on-P configuration for back illumination
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著者 (10件)：
Zhu Yaoming

Zhu Yaoming について

(State Key Lab. of Transducer Technol.,Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sciences; Key Lab. of ...)

State Key Lab. of Transducer Technol.,Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sciences; Key Lab. of ... について

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Li Yongfu

Li Yongfu について

(State Key Lab. of Transducer Technol.,Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sciences; Key Lab. of ...)

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Li Xue

Li Xue について

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Tang Hengjing

Tang Hengjing について

(State Key Lab. of Transducer Technol.,Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sciences; Key Lab. of ...)

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Shao Xiumei

Shao Xiumei について

(State Key Lab. of Transducer Technol.,Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sciences; Key Lab. of ...)

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Chen Yu

Chen Yu について

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Deng Honghai

Deng Honghai について

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Wei Peng

Wei Peng について

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Zhang Yonggang

Zhang Yonggang について

(Graduate School of the Chinese Acad. of Sciences, Beijing)

Graduate School of the Chinese Acad. of Sciences, Beijing について

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Gong Haimei

Gong Haimei について

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State Key Lab. of Transducer Technol.,Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sciences; Key Lab. of ... について


資料名：
Hongwai yu Haomibo Xuebao  (Hongwai yu Haomibo Xuebao)

Hongwai yu Haomibo Xuebao について


巻： 31  号： 1  ページ： 11-14,90  発行年： 2012年 
JST資料番号： C0174C  ISSN： 1001-9014  CODEN： HHXUEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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裏面照明640×1リニアInGaAs検出器アレーを,誘導結合プラズマ(ICP)エッチングによって,N-on-P構造のIn_(0.78)Al_(0.22)As/In_(0.78)Ga_(0.22)As材料上で製造した。検出器の光電特性を研究した。室温におけるカットオフ波長およびピーク波長がそれぞれ,2.36μmおよび1.92μmであることを,結果は示した。R_0Aの平均値は16.0Ωcm2であり,ピーク波長の量子効率は37.5%に達した。一方,リニア検出器アレーの平均ピーク検出能は2.01×10(11)cmHz(1/2)/Wに達し,反応不均一性は約8.77%であり,欠陥画素比率は1msの積分時間に対して0.6%であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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照射

照射 について

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ヒ化ガリウムインジウム

ヒ化ガリウムインジウム について

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*検出器

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照明

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誘導結合プラズマ

誘導結合プラズマ について

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エッチング

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室温

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画素

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準シソーラス用語：
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分類 (1件)：
分類
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計測機器一般 
(AD02000X)

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タイトルに関連する用語 (4件)：
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