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J-GLOBAL ID：201302270877105239   整理番号：13A0509256

Zernike多項式の係数に基づく高比口径表面の超精度旋回誤差の補正法

Compensation method for ultra precision turning error of high relative aperture surface based on coefficients of Zernike polynomial

著者 (2件)： Wang Yi (Inst. of Modern Optical Technol., Soochow Univ., Suzhou) ,  Yu Jingchi (Inst. of Modern Optical Technol., Soochow Univ., Suzhou)
資料名： Hongwai yu Jiguang Gongcheng  (Hongwai yu Jiguang Gongcheng)
巻： 41  号： 3  ページ： 724-728  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2521A  ISSN： 1007-2276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 超精度旋回誤差の補正は超精度旋回過程の開発のための重要技術である。第一に,正常ダイヤモンドの旋回誤差を分析し,一般化した。それは,ダイヤモンド工具の幾何学形状誤差と機械運動性軸の非線形形状誤差は同一形式を持ち,それらの両方がダイヤモンド旋回後の表面形状の計測結果によって補正できることを示した。次に,デジタル干渉計からの測定結果に従った正確な補正法を提案し,この補正法に関する理論計算を導出した。Zernike多項式の球状誤差と高次元の球状誤差(最大36期)の係数に基づいて,そのような旋回誤差を補正した。最後に,自家製ダイヤモンド工具(0.2μm以上のうねり)とナノテク250UPLによる旋回実験の結果は,高精度(PV=0.24λ,rms=0.021λ)と高速度誤差推定(3つの補正周期)によって,新補正法の有効性を立証する。それは,予測的解析と一致する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *Zernike多項式 ,  ダイヤモンド工具 ,  計算 ,  理論 ,  推定 ,  誤差 ,  ディジタル方式 ,  形態
準シソーラス用語： 補正法 ,  実験結果 ,  理論計算 ,  誤差推定 ,  形状誤差 ,  ディジタル ,  表面形状

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： Zernike多項式 ,  係数 ,  高 ,  口径 ,  旋回 ,  誤差 ,  補正法