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J-GLOBAL ID：201302271152430777   整理番号：13A1250494

熱酸化亜鉛およびインジウム薄膜の構造およびアンモニア検出特性に及ぼすニッケル(7+)イオン照射の影響

Effect of Ni(7+) Ion Irradiation on Structure and Ammonia Sensing Properties of Thermally Oxidized Zinc and Indium Films

著者 (3件)： Bal Amandeep Kaur (Material Sci. Lab., Dep. of Physics, Guru Nanak Dev Univ., India, Amritsar) ,  Singh Rajinder (Material Sci. Lab., Dep. of Physics, Guru Nanak Dev Univ., India, Amritsar) ,  Bedi R K (Material Sci. Lab., Dep. of Physics, Guru Nanak Dev Univ., India, Amritsar)
資料名： Journal of Materials Science & Technology  (Journal of Materials Science & Technology)
巻： 28  号： 8  ページ： 700-706  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0871A  ISSN： 1005-0302  CODEN： JSCTEQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 30°Cのガラス基板上に,真空蒸着した亜鉛およびインジウムの薄膜のそれぞれに熱酸化させて,ZnO及およびIn_2O_3薄膜を調製した。5×10(11)~5×10(13)イオン/cm2の範囲の種々フルエンスにて,100MeVのニッケル(7+)イオンで,作製薄膜に照射した。薄膜そのものと照射した薄膜の構造的特性,およびガス検出特性を論じた。薄膜そのものと照射した薄膜のX線回折(XRD)パターンによって,その薄膜は本来多結晶質であり,結晶度は照射の後に増加することが明らかになる。本論文では,5×10(13)イオン/cm2のフルエンスで照射すると,非常に多孔性のIn_2O_3ナノロッドが発達したが,他方,ZnO薄膜はナノワイヤの数量を減少させることがわかる。ニッケル(7+)で照射したIn_2O_3薄膜のアンモニア検出性能は,薄膜そのもの性能と比較して,改善することを示している。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *イオン照射 ,  アンモニア ,  酸化亜鉛 ,  ニッケル ,  熱酸化 ,  薄膜 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  フルエンス ,  構造特性 ,  ナノワイヤ ,  ナノロッド ,  透明導電膜 ,  真空蒸着 ,  多結晶 ,  X線回折 ,  感度 ,  性能 ,  能力
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  構造的特性 ,  ZnO薄膜 ,  多結晶質 ,  検出性能

分類 (1件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化亜鉛 ,  インジウム ,  薄膜 ,  アンモニア ,  ニッケル ,  イオン照射