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J-GLOBAL ID：201302271194447670   整理番号：13A0567091

ローラナノインプリントのためのV形円筒グレーティングテンプレートのマイクロ切削

Micro cutting of V-shaped cylindrical grating template for roller nano-imprint

著者 (7件)： LI Gonghao (State Key Lab. of Precision Measuring Technol. & Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol., Tianjin ...) ,  XU Zongwei (State Key Lab. of Precision Measuring Technol. & Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol., Tianjin ...) ,  FANG Fengzhou (State Key Lab. of Precision Measuring Technol. & Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol., Tianjin ...) ,  WU Wei (State Key Lab. of Precision Measuring Technol. & Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol., Tianjin ...) ,  XING Xiaodong (State Key Lab. of Precision Measuring Technol. & Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol., Tianjin ...) ,  LI Wanli (State Key Lab. of Precision Measuring Technol. & Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol., Tianjin ...) ,  LIU Hongzhong (State Key Lab. for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 213  号： 6  ページ： 895-904  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ローラナノインプリント技術は大規模マイクロピッチグレーティング製作のための効率的で低コストの方法と考えられている。ダイヤモンド工具切削プロセスによって開発されたローラグレーティングテンプレートのためのV型溝の表面品質を研究する。マイクロV型グレーティングの先端形状と非フリー先端干渉解析に基づく切削工具の形状設計およびマイクロ切削プロセスの最適化によりバリ形成を最小化することで,表面品質を最適化する。バリはグレーティングピッチの10~20μmと2μm以下に伴う変化を示す。V型マイクロ切削のばり形成メカニズムは,材料(H62銅)の金属組織学と均質性解析によって研究する。最後に,各種ピッチを伴う高精度グレーティングテンプレートが成功裏に得られる。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *切削 ,  *押付成形 ,  ダイヤモンド工具 ,  *溝 ,  表面性状 ,  ばり ,  *円筒 ,  *黄銅 ,  切り屑 ,  ピッチ【機械要素】 ,  効果 ,  切削工具 ,  パターン形成 ,  微細加工 ,  溝加工 ,  型 ,  ナノ構造 ,  アルミニウム ,  金属薄膜
準シソーラス用語： *V溝 ,  *グレーチング ,  テンプレート【型】 ,  ナノインプリント ,  ナノテンプレート ,  ピッチ効果 ,  *マイクロ切削 ,  ローラナノインプリント

分類 (1件)： その他の切削  (QC02040C)

タイトルに関連する用語 (6件)： ローラ ,  ナノインプリント ,  V形 ,  グレーティング ,  テンプレート ,  マイクロ切削