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J-GLOBAL ID：201302271381716897   整理番号：13A1368435

SPMシステムのZiegler-Nicholsベ-スの知的制御器設計

Ziegler-Nichols Based Intelligent Controller Design of a SPM System

著者 (3件)： LIN J.M. (Chung-Hua Univ., TWN) ,  KAO P.F. (Chung-Hua Univ., TWN) ,  CHO K.T. (Chung-Hua Univ., TWN)
資料名： IET Conference Publications  (IET Conference Publications)
巻： 598 Vol.3  ページ： 2272-2271  発行年： 2012年 
JST資料番号： B0665A  ISSN： 0537-9989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,走査型プローブ顕微鏡(SPM)システムの垂直プローブ制御器の設計方法に関するものである。制御器の設計には,Ziegler-Nicholsベ-スのPID制御と知的ファジィ法を組合せ,相対的な安定性は公称を保つようにした。パラメータ変動のあるシステムでも,本制御器では音声コイルのヒステリシス効果を5分の1にまで低減し,応答速度は5倍まで上げられることを確認した。また,精度については10倍まで向上できることを確認した。従来のZiegler-Nicholsベ-スのPID制御器だけによる場合と比較して,著者らは本システムがよりロバストであることを見出した。

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *制御 ,  *フィードバック制御 ,  ファジィ制御 ,  変動 ,  ヒステリシス ,  速度
準シソーラス用語： *PID制御 ,  パラメータ変動 ,  応答速度 ,  *知的制御

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： SPM ,  制御器 ,  設計