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J-GLOBAL ID：201302271481813253   整理番号：13A0839619

圧電素子による精密位置決めステージの制振に関する研究

Study of Vibration Suppression on Positioning Stage by using Piezoelectric Device

著者 (1件)： 田中慶一 (ニコン コアテクノロジーセ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 79  号： 5  ページ： 443-448  発行年： 2013年05月05日 
JST資料番号： F0268C  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,まず圧電素子の基本特性を説明した後,半導体露光装置の高精度位置決めステージの内,特に歩留まりに影響するレチクルステージに対し,ステージ振動と逆位相の推力を発生する圧電素子を追加して,振動を打ち消す制振により位置決め精度を向上させる事例を2つ取り上げた。これにより得た主な知見を次に示した。1)圧電素子の動特性を実測し,パラメータを同定することで素子の特性をモデル化したこと,2)モデル化した圧電素子をステージ筐体に貼り付け,その伸縮によりステージ振動モードを抑制することでステージ振動が低減できることをシミュレーションで明らかにしたこと,3)モデル化した圧電素子をステージ駆動源であるリニアモータの永久磁石体とステージとの間に設置し,加速度情報を元にステージ振動を抑制し,整定性が向上できること。

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  *圧電素子 ,  位置決め ,  位置制御 ,  *防振 ,  リソグラフィー ,  位置決め装置 ,  テーブル【機械要素】 ,  アクチュエータ ,  動特性 ,  解析モデル ,  レチクル ,  *数値解法 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： *精密位置決め ,  *半導体製造装置 ,  *露光装置

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  振動伝搬  (BB02040K) ,  数値計算  (JE02000J)

引用文献 (11件)：

• 1) 涌井伸二,小島大典,高橋正人,山本幸治:絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用,精密工学会誌, 73, 10, (2007), 1169.
• 2) 高橋正人,涌井伸二,牧野内進:除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化,精密工学会誌, 75, 7,(2009), 853.
• 3) 高橋正人,涌井伸二,牧野内進:アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化 (機械力学,計測,自動制御),日本機械学会論文集 (C編), 76, 763, (2010), 550.
• 4) Colin G. Gordon : Generic Vibration Criteria for Vibration-Sensitive Equipment, Proceedings of SPIE, 1619, (1991), 71.
• 5) 岡本和也,鈴木一明,沖野輝昭,河田真太郎,守田憲司,秦一成,内川清,谷本昭一,山口武:次世代露光機EBステッパの開発,電子情報通信学会技術研究報告.ED,電子デバイス, 99, 497,(1999), 53.

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電素子 ,  精密位置決め ,  ステージ ,  制振 ,  研究