文献

J-GLOBAL ID：201302271547858512   整理番号：13A1416336

格子線に平行な入射面で小さな入射角をもつ回折構造に対する反射率/透過率の効率的なシミュレーション

Efficient simulation of the reflectance/transmittance for diffracting structures with small incident angle in the incident plane parallel to grating lines

著者 (2件)： CHEN Shuqiang (Univ. Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu, CHN) ,  DENG Hao (Univ. Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu, CHN)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 124  号： 17  ページ： 3072-3078  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 格子 ,  入射角 ,  回折 ,  反射率 ,  透過率 ,  シミュレーション