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J-GLOBAL ID：201302271562517764   整理番号：13A1589464

スピンコーティング法で作製されたAlドープZnO薄膜の性質に及ぼす近赤外線アニーリング効果

Near Infrared Ray Annealing Effects on the Properties of Al-Doped ZnO Thin Films Prepared by Spin-Coating Method

著者 (10件)： JUN Min-Chul (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR) ,  PARK Sang-Uk (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR) ,  CHAE Moon-Soon (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR) ,  SHIN Dong-Jin (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR) ,  HA Jae-Geun (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR) ,  KOO Sang-Mo (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Kyung-Ju (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  MOON Byung-Moo (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  SONG Chi-Young (Hardram, Cyeonggi, KOR) ,  KOH Jung-Hyuk (Kwangwoon Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 13  号： 9  ページ： 6312-6315  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲルスピンコーティング法によりAlドープZnO(AZO)薄膜を作製し,その後,通常の熱処理と近赤外光(NIR)による光加熱の2方法でアニールし,その効果を研究した。原料には酢酸亜鉛・2水和物(Zn(CH₃COO)₂・2H₂O)とアルミニウム源としての塩化アルミニウム・6水和物(ALCl₃・6H₂O)を用いた。NIRアニーリングの場合,薄膜の応力が低減され,シート抵抗は低下し,結晶性は向上した。また可視光透過率も85%以上と向上した。AZO薄膜の構造と電気的及び光学的性質はNIRポストアニーリング処理によって向上することが分かった。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *透明導電膜 ,  *スピンコーティング ,  *ゾル-ゲル法 ,  熱処理 ,  *近赤外線 ,  塩化アルミニウム ,  *アルミニウム ,  *ドーピング ,  結晶度 ,  透過率 ,  光学定数 ,  シート抵抗 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *焼なまし
準シソーラス用語： ZnO薄膜 ,  *近赤外線アニーリング

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛・2水和物

タイトルに関連する用語 (7件)： スピンコーティング法 ,  作製 ,  AlドープZnO ,  薄膜 ,  性質 ,  近赤外線 ,  アニーリング効果