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J-GLOBAL ID：201302271804615715   整理番号：13A0287373

多結晶強誘電体コンデンサの圧電応答におよぼす頂部電極厚さの影響

Effect of top electrode thickness on the piezoresponse of polycrystalline ferroelectric capacitors

著者 (7件)： WANG Longhai (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN) ,  DAI Ying (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN) ,  YANG Lei (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN) ,  XU Jun (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN) ,  ZOU Lianying (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN) ,  TIAN Bin (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN) ,  HUANG Danxia (Wuhan Inst. of Technol., Wuhan, CHN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 45  号： 50  ページ： 505302,1-6  発行年： 2012年12月19日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電応答力顕微鏡(PFM)による強誘電体コンデンサの分域像の特徴を,頂部電極厚さを変化させながら調べた。実験では,無垢または分極させた状態で,頂部電極厚さを10nmから75nm以上まで変化させた。その結果,分極処理を施した強誘電体コンデンサでは,異なる頂部電極厚さに対して同じコントラストを持つ均一な圧電応答が得られたが,分極処理を行っていないコンデンサに対しては,頂部電極が厚くなるほど,圧電応答が小さくなることがわかった。これは,無垢の誘電体では分域配向ランダムであり,また,強誘電分域の抑圧効果や電極の減衰効果が大きいためであると考えられる。圧電応答の電極厚さに対する依存性については,厚さが10nmから75nmまで増すと,圧電応答は非線形的に急速に減少し,厚さが75nmを超えると圧電応答はほぼゼロになった。また,電極厚さが大きくなるにしたがって,PFM像に見られる分域壁の詳細や結晶粒界は徐々に不鮮明になり,境界の区別が困難になることも明らかになった。本研究は,PFMによる明瞭な分域像を得るためには,頂部電極の厚さは10nm以下が望ましいことを示した。

シソーラス用語： *コンデンサ ,  力顕微鏡 ,  電極 ,  結晶粒界 ,  逆位相境界 ,  分域 ,  *応答
準シソーラス用語： *強誘電体コンデンサ ,  圧電応答力顕微鏡 ,  分域壁 ,  *圧電応答

分類 (1件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多結晶 ,  強誘電体コンデンサ ,  圧電応答 ,  頂部 ,  厚さ