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J-GLOBAL ID：201302271847367421   整理番号：13A1829554

希薄気体ジェット支援プロセスによる熱障壁コーティング堆積:固定エアフォイル上での堆積のシミュレーション

Thermal barrier coating deposition by rarefied gas jet assisted processes: Simulations of deposition on a stationary airfoil

著者 (3件)： RODGERS Theron M. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Virginia, 395 McCormick Road, P.O. Box 400745, Charlottesville ...) ,  ZHAO Hengbei (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Virginia, 395 McCormick Road, P.O. Box 400745, Charlottesville ...) ,  WADLEY Haydn N. G. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Virginia, 395 McCormick Road, P.O. Box 400745, Charlottesville ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 31  号： 6  ページ： 061509-061509-14  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無衝突物理蒸着プロセスにより,ガスタービンエアフォイルのような複雑な形状の基板の一様コーティングは,基板あるいはソースの回転/並進を必要とので,蒸気ソースの視線に無い基板上の領域に関しては考えることはできない。最近開発された指向性蒸着プロセスは,電子ビーム蒸発及び不活性ガスジェットを用いて,多くの気相原子衝突が堆積前に起こる環境で,金属酸化物を取り込み,輸送し,堆積する。希土類元素修飾熱障壁コーティングの直接シミュレーションモンテカルロシミュレーション及び実験堆積を用いて,実質的に非視線領域をもつ非回転モデルエアフォイル基板の表面に亘って,コーティング厚及び柱状配向を含む堆積過程の基本的側面を研究した。コーティング厚一様性は,堆積チャンバ圧及び低圧堆積チャンバと高圧リザーバ上流との間の圧力比に依存することが分かった。遅速流条件下において,非視線領域の大きなコーティングが可能であった。成長柱状配向も,堆積気相原子の局所入射角分布における変化により,基板表面に亘って変化することが分かった。成長柱状配向における変化は,物理蒸着過程における柱状成長配向を予測するのに広く使われているTangent則によっては予測できなかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ガスタービン ,  *翼 ,  *被覆 ,  金属酸化物 ,  物理蒸着 ,  *電子ビーム蒸着 ,  *ガスジェット ,  不活性ガス ,  希土類元素 ,  化学修飾 ,  *シミュレーション ,  視線 ,  柱状晶 ,  配向 ,  圧力効果 ,  入射角 ,  *遮熱コーティング
準シソーラス用語： *エアフォイル ,  *コーティング ,  *熱障壁被覆 ,  修飾【化学】 ,  *モンテカルロシミュレーション ,  圧力依存性

分類 (3件)： ガスタービン  (PB02040Y) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物の結晶構造一般  (BK07001T)

タイトルに関連する用語 (9件)： 希薄気体 ,  ジェット ,  支援 ,  プロセス ,  障壁 ,  コーティング ,  堆積 ,  エアフォイル ,  シミュレーション