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J-GLOBAL ID：201302271912504121   整理番号：13A0648896

超精密2次元マイクロ変位ステージの位置決め誤差の補償に関する研究

Research on Compensation of Positioning Error of Ultraprecision Two-dimension Micro Displacement Stage

著者 (3件)： LIN Jiejun (China Jiliang Univ., Hangzhou, CHN) ,  LI Dongsheng (China Jiliang Univ., Hangzhou, CHN) ,  SHEN Xiaoyan (China Jiliang Univ., Hangzhou, CHN)
資料名： Proceedings of the International Conference on Positioning Technology  (Proceedings of the International Conference on Positioning Technology)
巻： 5th  ページ： 85-88  発行年： 2012年 
JST資料番号： W1407A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノテクノロジは多くの学問領域にわたり注目を集め,科学技術の発展とともに,超精密位置決め技術は種々の分野に適用されてきた。本稿では,ナノ位置決め精度を持つ2次元マイクロ変位ステージの位置決め誤差を保証する研究について記述した。マイクロ変位ワークテーブルの位置決め誤差を逆位相法により補償した結果,補償前の250nmから300nmの位置決め誤差が補償後,約±25nmになることが分かり,位置決め誤差は大いに減少し精度が改善した。レーザの波長の不安定性に起因する系統的な誤差,レーザ光干渉計の不感帯による誤差等を解析した。伸びの量と電圧はリニアではないため,位置決め精度の改善には,系統的誤差を無くしこれらの誤差を保証する必要性に言及した。

シソーラス用語： *位置決め ,  位置制御 ,  レーザビーム ,  *干渉計 ,  *精度 ,  精密測定 ,  レーザ干渉計
準シソーラス用語： ナノ位置決め ,  レーザ光 ,  位置決め精度 ,  超精密計測

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超精密 ,  2次元 ,  マイクロ変位 ,  ステージ ,  位置決め誤差 ,  補償 ,  研究