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J-GLOBAL ID：201302272117960875   整理番号：13A1664950

三次元スキャンプローブキャリブレーション方法

Three-dimensional Scanning Probe Calibration Method

著者 (2件)： Zhang Bai (Coll. of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technol.,Beijing Univ. of Technol., Beijing) ,  Shi Zhaoyao (Coll. of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technol.,Beijing Univ. of Technol., Beijing)
資料名： Beijing Gongye Daxue Xuebao  (Beijing Gongye Daxue Xuebao)
巻： 39  号： 4  ページ： 481-486  発行年： 2013年 
JST資料番号： C2401A  ISSN： 0254-0037  CODEN： BGDXD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文は,位置決め正確さ必要条件を減少するために,三次元スキャンプローブキャリブレーション方法を提案した。速い最小二乗法反復性アルゴリズムおよび反復性データフィルタリングアルゴリズムは,三次元スキャンプローブの高い正確な効率的キャリブレーションを達成するように設計した。いくつかのキャリブレーションシミュレーション実験はその安定性および正確さを確認するように設計して,さまざまな誤差からのキャリブレーション結果に及ぼす影響力をテストした。実験結果は,本三次元スキャンプローブキャリブレーション方法が装置を測定することの位置決め正確さを必要としないで,それは,測定装置誤差およびスキャンプローブ検出誤差に無関心であり,3寸法のスキャンプローブの座標系のユニットベクトルの正確さが,0.00001に達して,三次元スキャンプローブキャリブレーション必要条件が,完全に満足することを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *走査 ,  *プローブ ,  *キャリブレーション ,  最小二乗法 ,  アルゴリズム ,  フィルタリング ,  シミュレーション ,  必要条件
準シソーラス用語： *3次元スキャン ,  データフィルタリング ,  シミュレーション実験

分類 (1件)： 計測学一般  (AD01000Q)