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J-GLOBAL ID：201302272492891821   整理番号：13A0758208

シリコン・オン・インシュレータ内の集積差圧センサ

Integrated differential pressure sensor in silicon-on-insulator

著者 (2件)： HALLYNCK Elewout (Ghent Univ., BEL) ,  BIENSTMAN Peter (Ghent Univ., BEL)
資料名： Annual Meeting of the IEEE Photonics Society  (Annual Meeting of the IEEE Photonics Society)
巻： 2012  ページ： 445-446  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0931A  ISSN： 1092-8081  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン・オン・インシュレータ内に小型の集積差圧センサを作製し,その特性を評価した。実験から,作製した素子のスペクトル特性は,圧力が-20~80kPaの間で変化させた場合,1585pmまで変化することがわかった。

シソーラス用語： *圧力計 ,  圧力センサ ,  *半導体プロセス ,  集積回路 ,  特性
準シソーラス用語： *シリコンオンインシュレータ ,  スペクトル特性 ,  *差圧計

分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコン・オン・インシュレータ ,  集積 ,  差圧センサ