文献

J-GLOBAL ID：201302274049664980   整理番号：13A0486173

電子配線用の自己集合ナノ組織セラミック/ポリマー複合材膜

A Self-Assembling Nano-structured Ceramic/Polymer Composite Film for Electronic Interconnections

著者 (1件)： HARWATH Frank A. (Illinois Inst. Technol.)
資料名： Materials Science & Technology Conference and Exhibition  (Materials Science & Technology Conference and Exhibition)
巻： 2012 Vol.2  ページ： 787-794  発行年： 2012年 
JST資料番号： E0697C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 様々な電子装置の配線に金が広く利用されているが,世界的にその使用量は年々増加し,価格も高騰している。そこで本研究は,電子配線用に金を用いない自己集合性ナノ組織セラミック/ポリマー複合材薄膜の開発を検討した。様々なポリマー前駆体に多層炭素ナノチューブ(MWNTs)を混合添加して,電子配線として必要な導電性を調べた。その結果,MWNTsを1%添加すると急激に導電性が向上し,2%添加で金配線と同等な導電性が実現する事がわかった。今後は,電子配線として導電性以外に,トライボロジー特性,耐久性等の必要特性を備えた更なるポリマーの開発を進めると述べた。

シソーラス用語： *相互接続 ,  配線 ,  熱分解 ,  *複合膜 ,  セラミック膜 ,  ナノ構造 ,  自己集合 ,  高分子 ,  複合材料 ,  セラミック ,  多層カーボンナノチューブ ,  導電性 ,  トライボロジー ,  耐久性 ,  薄膜 ,  電気伝導率 ,  接触抵抗 ,  アミン ,  架橋剤 ,  有機塩素化合物 ,  環状エーテル
準シソーラス用語： 導電性膜

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

物質索引 (1件)： エピクロロヒドリン

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子 ,  自己集合 ,  ナノ組織 ,  セラミック ,  ポリマー ,  複合材膜