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J-GLOBAL ID：201302274356071554   整理番号：13A0794470

センサ及びエネルギーハーベスタ集積の観点からの圧電ナノワイヤのスケーリング規則

Scaling rules of piezoelectric nanowires in view of sensor and energy harvester integration

著者 (7件)： HINCHET R. (MINATEC, Grenoble, FRA) ,  FERREIRA J. (CEA-Leti, Grenoble, FRA) ,  KERAUDY J. (MINATEC, Grenoble, FRA) ,  ARDILA G. (MINATEC, Grenoble, FRA) ,  PAULIAC-VAUJOUR E. (CEA-Leti, Grenoble, FRA) ,  MOUIS M. (MINATEC, Grenoble, FRA) ,  MONTES L. (MINATEC, Grenoble, FRA)
資料名： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 2012  ページ： 119-122  発行年： 2012年 
JST資料番号： C0829B  ISSN： 0163-1918  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノワイヤ(NW)ベースセンサ及びエネルギーハーベスタの主な性能指数を,多様な応用に対応した,異なる稼働条件(圧力,変位,及び力)において議論した。素子設計及び材料の選択に関するいくつかの重要な結論を導いた。nm,nNあるいはMPaより数桁小さい領域が検出可能で,MEMSのそれと同一のパワー密度(4W/cm³)を理論的に得ることができた。実験データに基づいて,より高い値(ほとんど10倍まで)を,ヘテロ構造NWを用いて予測できた。NWベース素子が,MEMS構造より高集積密度を可能にできると結論した。

シソーラス用語： *スケール則 ,  *超LSI ,  *電気機械 ,  *エネルギー供給 ,  集積 ,  *圧電センサ ,  *ナノワイヤ ,  圧電素子 ,  *エネルギー変換効率 ,  *窒化ガリウム ,  原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  ICパッケージ ,  スケーリング【計数】 ,  MEMS ,  エネルギー密度 ,  圧力センサ ,  変位測定 ,  センサ
準シソーラス用語： SOC【IC】 ,  エネルギーハーベスタ ,  SiP ,  電力密度 ,  力センサ

分類 (2件)： 集積回路一般  (NC03161C) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (7件)： エネルギーハーベスタ ,  集積 ,  観点 ,  圧電 ,  ナノワイヤ ,  スケーリング ,  規則