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J-GLOBAL ID：201302274950164880   整理番号：13A0138240

先進的干渉計測技術の展望-計算光学とモデル同定干渉計測-

著者 (1件)： 武田光夫 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ)
資料名： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
巻： 51  号： 1  ページ： 21-28  発行年： 2013年01月20日 
JST資料番号： S0624A  ISSN： 0913-7289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 干渉縞信号の電子検出によるヘテロダイン干渉計測法や干渉縞解析技術により「ものさし」の最小目盛が100分の1波長のサブミクロンからナノメートル領域に達している。本論文では,計算光学を取り込んだ先進的干渉計測技術の研究動向と将来展望について解説した。物理光学と計算光学の基礎,計算光学とモデル同定光計測法,コヒーレンス長の限界を超えたモデル同定白色干渉計測,モデル同定による干渉計測の高速化などを述べた。計算光とモデル同定光計測を説明し,その技術を紹介した。

シソーラス用語： コヒーレンス長 ,  レビュー ,  技術予測 ,  高速化 ,  干渉縞 ,  *光干渉法 ,  干渉計 ,  同定 ,  数値計算 ,  白色光 ,  光ヘテロダイン法 ,  計装技術 ,  物理光学 ,  研究開発動向 ,  白色干渉法
準シソーラス用語： 計測法 ,  研究動向 ,  将来展望 ,  白色光干渉法

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (16件)：

• 1)D. J. Brady, A. Dogariu, M. A. Fiddy, and A Mahalanobis: “Computational optical sensing and imaging: introduction to the feature issue," Appl. Opt. 47, No. 10, (2008) pp. COSI1-COSI2.
• 2)E. Y. Lam and A. K. Wong: “Computational lithography: virtual reality and virtual virtuality," Opt. Exp. 17, Iss. 15 (2009) pp.12259-12268.
• 3)E. R. Dowski, Jr. and G. E. Johnson: "Wavefront coding: a modern method of achieving high-performance and/or low-cost imaging systems," Proc. SPIE 3779, Current Developments in Optical Design and Optical Engineering VIII, 137 (October 5, 1999).
• 4)W. Osten: "Different ways to overcome the resolution problem in optical micro and nono metrology," in Optical Imaging and Metrology, W. Osten and N. Reigand Eds., (Wilety-VCH, Weiheim, 2012) pp.327-368.
• 5)H. Schreiber and J. H. Bruning: “Phase Shifting Interferometry", Optical Shop Testing D. Malacara Ed.(Jon Wiley & Sons, New Jersey,2007)pp.571-574;成相恭二,清原順子,辻内順平(訳),光学実験・測定法II(アドコムメディア,2010) pp.129-131.

タイトルに関連する用語 (5件)： 干渉計測 ,  展望 ,  計算 ,  光学 ,  モデル同定