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J-GLOBAL ID：201302275274662763   整理番号：13A1412480

2重SOIおよびFZ-SOI基板を用いたSOI放射線センサーの開発

著者 (8件)： 三好敏喜 (KEK 素核研) ,  新井康夫 (KEK 素核研) ,  藤田陽一 (KEK 素核研) ,  池本由希子 (KEK 素核研) ,  原和彦 (筑波大) ,  本多俊介 (筑波大) ,  田内一弥 (KEK 素核研) ,  武田彩希 (総合研究大学院大)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 68  号： 2 第1分冊  ページ： 27  発行年： 2013年08月26日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *半導体放射線検出器 ,  *SOI構造 ,  ウエハ【IC】 ,  プリント基板 ,  *評価試験
準シソーラス用語： SOIウェハ ,  SOI基板 ,  SOI技術

分類 (2件)： 放射線検出・検出器  (AD08020J) ,  素粒子・核物理実験計測用エレクトロニクス  (BE01020Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： SOI ,  SOI基板 ,  放射線 ,  センサー ,  開発