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J-GLOBAL ID：201302275781029274   整理番号：13A1466509

MEMSの高信頼性化に資する微小材料機械物性計測技術

著者 (1件)： 生津資大 (兵庫県大)
資料名： システム/制御/情報  (システム制御情報学会誌)
巻： 57  号： 9  ページ： 373-379  発行年： 2013年09月15日 
JST資料番号： G0902A  ISSN： 0916-1600  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 可動部を持つ点で電子デバイスと異なるMEMS構成材料の機械特性評価に使用する,薄膜用の一軸・二軸引張試験技術とマイクロ構造体の引張・曲げ・ねじり複合試験技術を紹介した。負荷機構部,試験片固定部,荷重測定部,変位計測部および温度制御部から構成される一軸引張試験装置をX線回折装置内に設置し,引張負荷を与えた状態で回折計測する技術を示した。薄膜材料の多軸応力状態での機械特性把握のための二軸引張試験装置を示し,十字試験片中央の位置の固定が困難と述べた。引張・曲り・ねじり変形計測のため負荷機構部と,X-Y-Z方向荷重とX軸周りトルクを実測できる4軸荷重センサから構成される試験装置を示した。単結晶Siの破壊強度の算出を示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  評価 ,  *機械的性質 ,  引張試験 ,  曲げ試験 ,  ねじり試験 ,  一軸 ,  二軸 ,  X線回折 ,  計測 ,  変位測定 ,  マイクロマシニング ,  固体素子 ,  ICパッケージ ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： 一軸引張試験 ,  二軸引張試験 ,  *機械的特性評価 ,  電子デバイス ,  薄膜技術 ,  変形計測

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  高信頼性 ,  微小 ,  機械物性 ,  計測技術