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J-GLOBAL ID：201302276515591338   整理番号：13A0013866

排気の時定数と壁での吸着平衡条件について

On the Relation between the Time Constant of Evacuation and the Equilibrium Condition of Gas Adsorption on the Walls

著者 (1件)： 松田七美男 (東京電機大学工学部物理系列)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 55  号： 10  ページ： 456-458 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 真空工学の基礎講座の一環として,本講では,排気の時定数について説明した。壁表面での気体の吸着・脱着を考慮して真空排気方程式を解く際に仮定している「壁での吸着平衡の成立」は,壁からの気体の脱着の時定数が,ポンプによる排気の時定数よりも一般に十分小さいという常識的な事柄に,その根拠があることを示した。

シソーラス用語： 吸着平衡 ,  *排気 ,  *真空ポンプ ,  脱着 ,  真空技術 ,  速度 ,  時定数
準シソーラス用語： 排気速度

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (4件)：

• 1) G. Horikoshi: Shinku, 33 (1990) 455.
• 2) K. Kanazawa: Shinku, 33 (1990) 474.
• 3) G. Horikoshi, Y. Hori, M. Kobayashi and Y. Sakamoto: Shinku Haiki to Gasu Houshutsu (Vacuum Evacuation and Gas Emission), (Kyoritsu Shuppan, Tokyo, 1995) p. 50 [in Japanese].
• 4) Y. Tuzi: Shinku, 4 (1961) 380.

タイトルに関連する用語 (3件)： 排気 ,  時定数 ,  吸着平衡