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J-GLOBAL ID：201302277173553877   整理番号：13A0588566

Ti6Al4V合金の表面にプラズマガンで常圧で堆積したダイヤモンド状炭素薄膜

Diamond-like Carbon Thin Films Deposited on Ti6Al4V Alloy Surface by Plasma Gun at Atmospheric Pressure

著者 (4件)： Chen Fei (Beijing Inst. of Petrochemical Technol., Beijing) ,  Zhou Hai (Beijing Inst. of Petrochemical Technol., Beijing) ,  Zhang Yuefei (Univ. of Sci. and Technol. Beijing, Beijing) ,  Lu Fanxiu (Beijing Univ. of Technol., Beijing)
資料名： Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng  (Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng)
巻： 41  号： 1  ページ： 124-128  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0563A  ISSN： 1002-185X  CODEN： XJCGEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 常圧で,ダイヤモンド状炭素(DLC)薄膜をTi6Al4V合金の表面にDBDプラズマガンを使って低温(<350°C)で前駆体にCH4,希釈ガスにアルゴンを使用して堆積した。DLC薄膜の構造をレーザRamanスペクトロスコープとX線光電子分光法で分析した。表面モホロジーを走査電子顕微鏡で観察した。罫書試験で,DLC薄膜と基板との間の接着力を研究した。GCr15鋼に対する乾燥滑り条件下でのDLC薄膜の摩擦摩耗挙動をボールオンディスク試験リングで評価した。試験結果から,プラズマガンで厚みが1.0μmのDLC薄膜の製造が可能であることがわかった。薄膜は,均一で緻密であり,表面粗さR_aは約13.23nmであった。DLC薄膜と基板との間の接着力の限界荷重は31.0Nであった。DLC薄膜には優れた耐摩擦摩耗性があることがわかった。Ti6Al4V基板の摩擦係数は乾燥滑り条件下で鋼材に対して約0.50であるが,DLC薄膜は同じ試験条件下ではるかに低い0.15まで摩擦係数を低下させた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  チタン合金 ,  アルミニウム ,  バナジウム ,  薄膜 ,  分光計 ,  X線光電子分光法 ,  形態 ,  表面構造 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： プラズマガン ,  炭素薄膜 ,  スペクトロスコープ ,  表面モフォロジー

分類 (1件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマガン ,  常圧 ,  堆積 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜