気候室を用いた干渉顕微鏡技法による微小構造における粘性減衰と材料減衰の実験解析

文献

J-GLOBAL ID：201302277639456974 整理番号：13A1118338

Experimental analysis of viscous and material damping in microstructures through the interferometric microscopy technique with climatic chamber

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資料名：
巻： 332 号： 18 ページ： 4103-4121 発行年： 2013年
JST資料番号： H0503A ISSN： 0022-460X 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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