文献
J-GLOBAL ID：201302277657571349   整理番号：13A0032647

極薄基板なしマイクロ及びナノシステムについての考慮点

CONSIDERATIONS ON ULTRA-THIN SUBSTRATE-LESS MICRO AND NANO SYSTEMS
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著者 (4件)：
GATZEN Hans H.

GATZEN Hans H. について

(Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU)

Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU について

, 
GRIESBACH Tim

GRIESBACH Tim について

(Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU)

Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU について

, 
WURZ Marc C.

WURZ Marc C. について

(Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU)

Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU について

, 
RISSING Lutz

RISSING Lutz について

(Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU)

Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU について


資料名：
Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition  (Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition)

Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition について


巻： 2011  号： Vol.11  ページ： 447-454  発行年： 2012年 
JST資料番号： W2290A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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